一种晶片抛光用陶瓷盘及抛光装置

被引：0

申请号：

CN202122893597.5

申请日：

2021-11-23

公开(公告)号：

CN216802999U

公开(公告)日：

2022-06-24

发明(设计)人：

廖彬周铁军曾琦张昌文

申请人：

申请人地址：

511500 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

B24B4106

IPC分类号：

B24B2902

代理机构：

清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

龚元元

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光用陶瓷盘 [P].

刘晓强 .

中国专利 :CN203003705U ,2013-06-19

[2]

一种硅片抛光用陶瓷盘清洁装置 [P].

吴泓明 ;

钟佑生 ;

陈志刚 ;

周军磊 ;

李常存 .

中国专利 :CN220836787U ,2024-04-26

[3]

一种陶瓷盘用抛光装置 [P].

杨盛国 ;

唐占银 ;

高赛魁 .

中国专利 :CN217255383U ,2022-08-23

[4]

一种对InSb晶片抛光用陶瓷盘的清洗方法 [P].

孔忠弟 ;

赵超 ;

彭志强 .

中国专利 :CN109365391A ,2019-02-22

[5]

一种单晶片抛光用抛光垫 [P].

张泽芳 .

中国专利 :CN215547806U ,2022-01-18

[6]

晶片抛光用抛光垫 [P].

夏秋良 .

中国专利 :CN205342781U ,2016-06-29

[7]

一种晶片抛光用抛光垫 [P].

宋献礼 .

中国专利 :CN212794604U ,2021-03-26

[8]

一种多陶瓷盘内径抛光用固定工装 [P].

张东东 .

中国专利 :CN216657572U ,2022-06-03

[9]

一种简易陶瓷盘振动抛光用磨料 [P].

宋从发 ;

汪六一 ;

马建健 .

中国专利 :CN106147708A ,2016-11-23

[10]

一种晶片抛光用的抛光垫 [P].

杨来保 ;

赵建涛 .

中国专利 :CN222289776U ,2025-01-03

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