夹取硅片的石英舟

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN200820095691.8
申请日
2008-07-21
公开(公告)号
CN201247768Y
公开(公告)日
2009-05-27
发明(设计)人
于祝鹏 叶宗桂
申请人
申请人地址
518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
IPC主分类号
H01L21687
IPC分类号
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人
郑小粤
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
硅片石英舟舟叉 [P]. 
竺峰 ;
赵国成 .
中国专利 :CN203787449U ,2014-08-20
[2]
一种便于取放硅片的石英舟 [P]. 
汤芳 ;
常永喜 .
中国专利 :CN213905322U ,2021-08-06
[3]
用于承载硅片的石英舟 [P]. 
潘维 ;
孟祥熙 ;
张贺梅 ;
彭泽明 .
中国专利 :CN209929280U ,2020-01-10
[4]
用于硅片扩散的石英舟 [P]. 
陈文学 .
中国专利 :CN204029781U ,2014-12-17
[5]
可承载硅片的石英舟 [P]. 
彭泽明 ;
潘维 ;
王博文 ;
孟祥熙 .
中国专利 :CN209929279U ,2020-01-10
[6]
硅片承载用石英舟 [P]. 
彭泽明 ;
潘维 ;
王博文 ;
孟祥熙 .
中国专利 :CN209947812U ,2020-01-14
[7]
用于制作硅片的扩散石英舟 [P]. 
谢小磊 ;
姚桂华 ;
刘亮 ;
倪恩光 ;
徐永洋 ;
张克强 .
中国专利 :CN201788959U ,2011-04-06
[8]
硅片扩散石英舟装卸机 [P]. 
董晓清 ;
凌勇 .
中国专利 :CN208157379U ,2018-11-27
[9]
一种硅片的扩散的石英舟 [P]. 
汤芳 ;
常永喜 .
中国专利 :CN214193524U ,2021-09-14
[10]
一种新型硅片石英舟 [P]. 
董焕苗 ;
杨益华 ;
岳春霞 ;
李健 .
中国专利 :CN220796679U ,2024-04-16