可承载硅片的石英舟

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921143971.6
申请日
2019-07-21
公开(公告)号
CN209929279U
公开(公告)日
2020-01-10
发明(设计)人
彭泽明 潘维 王博文 孟祥熙
申请人
申请人地址
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
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法律状态
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共 50 条
[1]
一种可承载硅片的石英舟 [P]. 
彭泽明 ;
潘维 ;
王博文 ;
孟祥熙 .
中国专利 :CN110379749A ,2019-10-25
[2]
用于承载硅片的石英舟 [P]. 
潘维 ;
孟祥熙 ;
张贺梅 ;
彭泽明 .
中国专利 :CN209929280U ,2020-01-10
[3]
硅片承载用石英舟 [P]. 
彭泽明 ;
潘维 ;
王博文 ;
孟祥熙 .
中国专利 :CN209947812U ,2020-01-14
[4]
硅片石英舟舟叉 [P]. 
竺峰 ;
赵国成 .
中国专利 :CN203787449U ,2014-08-20
[5]
一种石英舟及硅片承载装置 [P]. 
王树林 ;
李鹏飞 ;
张才琪 ;
张明 .
中国专利 :CN221899984U ,2024-10-25
[6]
用于硅片扩散的石英舟 [P]. 
陈文学 .
中国专利 :CN204029781U ,2014-12-17
[7]
夹取硅片的石英舟 [P]. 
于祝鹏 ;
叶宗桂 .
中国专利 :CN201247768Y ,2009-05-27
[8]
用于制作硅片的扩散石英舟 [P]. 
谢小磊 ;
姚桂华 ;
刘亮 ;
倪恩光 ;
徐永洋 ;
张克强 .
中国专利 :CN201788959U ,2011-04-06
[9]
硅片扩散石英舟装卸机 [P]. 
董晓清 ;
凌勇 .
中国专利 :CN208157379U ,2018-11-27
[10]
一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟 [P]. 
吴慧敏 ;
林纲正 ;
陈刚 .
中国专利 :CN210837690U ,2020-06-23