一种石英舟及硅片承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420339050.1

申请日：

2024-02-23

公开(公告)号：

CN221899984U

公开(公告)日：

2024-10-25

发明(设计)人：

王树林李鹏飞张才琪张明

申请人：

浙江晶盛光子科技有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L31/18

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孙晶晶

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-25	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片承载用石英舟 [P].

彭泽明 ;

潘维 ;

王博文 ;

孟祥熙 .

中国专利 :CN209947812U ,2020-01-14

[2]

用于承载硅片的石英舟 [P].

潘维 ;

孟祥熙 ;

张贺梅 ;

彭泽明 .

中国专利 :CN209929280U ,2020-01-10

[3]

可承载硅片的石英舟 [P].

彭泽明 ;

潘维 ;

王博文 ;

孟祥熙 .

中国专利 :CN209929279U ,2020-01-10

[4]

一种石英舟及硅片沉积装置 [P].

沈雯 ;

张临安 ;

杨慧 ;

邓伟伟 .

中国专利 :CN213340306U ,2021-06-01

[5]

硅片石英舟舟叉 [P].

竺峰 ;

赵国成 .

中国专利 :CN203787449U ,2014-08-20

[6]

一种硅片石英舟翻转装置 [P].

安迪 .

中国专利 :CN215896363U ,2022-02-22

[7]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[8]

一种石英舟硅片及沉积用装置 [P].

张临安 ;

沈雯 ;

邓伟伟 .

中国专利 :CN212848334U ,2021-03-30

[9]

一种新型硅片石英舟 [P].

董焕苗 ;

杨益华 ;

岳春霞 ;

李健 .

中国专利 :CN220796679U ,2024-04-16

[10]

一种用于硅片放置的石英舟 [P].

张凯 ;

周莉 ;

刘琦 ;

刘存志 .

中国专利 :CN210722974U ,2020-06-09

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