测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811553173.0

申请日：

2018-12-18

公开(公告)号：

CN111336932B

公开(公告)日：

2020-06-26

发明(设计)人：

霍树春胡春光王浩胡晓东胡小唐

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区卫津路92号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-13	授权	授权
2020-06-26	公开	公开
2020-07-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20181218

共 50 条

[1]

微区域差分反射式光谱测量系统与方法 [P].

胡春光 ;

武飞宇 ;

霍树春 ;

王浩 ;

胡晓东 ;

胡小唐 .

中国专利 :CN112504456A ,2021-03-16

[2]

用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法 [P].

霍树春 ;

胡春光 ;

王浩 ;

沈万福 ;

姚程源 ;

曲正 ;

武飞宇 ;

胡晓东 ;

胡小唐 .

中国专利 :CN111076668B ,2020-04-28

[3]

用于测量薄膜和硅基底厚度的复合光谱测量方法及系统 [P].

胡春光 ;

孙新磊 ;

白承沛 ;

王子政 ;

姚程源 ;

沈万福 .

中国专利 :CN118670280A ,2024-09-20

[4]

反射光谱测量用光路系统及反射光谱测量装置 [P].

吴晋龙 ;

刘海军 ;

韩浩 .

中国专利 :CN118168657B ,2024-12-03

[5]

反射光谱测量用光路系统及反射光谱测量装置 [P].

吴晋龙 ;

刘海军 ;

韩浩 .

中国专利 :CN118168657A ,2024-06-11

[6]

漫反射光谱测量装置及测量方法 [P].

李晨曦 ;

徐可欣 ;

李胜 ;

赵丕成 ;

汤海涛 .

中国专利 :CN109444082B ,2024-06-07

[7]

漫反射光谱测量装置及测量方法 [P].

李晨曦 ;

徐可欣 ;

李胜 ;

赵丕成 ;

汤海涛 .

中国专利 :CN109444082A ,2019-03-08

[8]

漫反射光谱测量装置 [P].

李晨曦 ;

徐可欣 ;

李胜 ;

汤海涛 ;

赵丕成 .

中国专利 :CN209745812U ,2019-12-06

[9]

新型反射光谱测量装置 [P].

蔡成周 .

中国专利 :CN207586124U ,2018-07-06

[10]

一种光谱测量系统及光谱式厚度测量系统 [P].

陈雅馨 ;

李仲禹 ;

董诗浩 .

中国专利 :CN116429257B ,2025-06-27

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