上胶机用光刻胶回收装置

被引：0

申请号：

CN202221001179.9

申请日：

2022-04-27

公开(公告)号：

CN217085515U

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

方廷宇许忠信李庆申杨士林张辉

申请人：

申请人地址：

255000 山东省淄博市高新区中润大道186号

IPC主分类号：

G03F726

IPC分类号：

H01L2167 G03F716

代理机构：

北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738

代理人：

李金

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶回收装置 [P].

张卫丽 ;

申浩 ;

司斌 ;

李伟界 .

中国专利 :CN213771334U ,2021-07-23

[2]

一种匀胶显影机用光刻胶回收装置 [P].

陈炳添 .

中国专利 :CN211718693U ,2020-10-20

[3]

光刻胶废液回收装置 [P].

沈军 ;

韩永霖 ;

林锦昆 ;

郑义承 ;

林秋玉 .

中国专利 :CN114405037A ,2022-04-29

[4]

光刻胶废液回收装置 [P].

孟鹏 ;

冯亚楠 ;

贾成林 ;

赵鹏 ;

于文达 ;

何江汇 ;

王宝兴 ;

胡学建 ;

郭金 .

中国专利 :CN118217711A ,2024-06-21

[5]

光刻胶废液回收装置 [P].

孟鹏 ;

冯亚楠 ;

贾成林 ;

赵鹏 ;

于文达 ;

何江汇 ;

王宝兴 ;

胡学建 ;

郭金 .

中国专利 :CN118217711B ,2024-08-09

[6]

光刻胶摇胶机 [P].

尹兴明 .

中国专利 :CN222943344U ,2025-06-06

[7]

光刻胶废剥离液回收装置 [P].

王鸿岩 ;

孙浩 .

中国专利 :CN210974492U ,2020-07-10

[8]

一种匀胶显影机光刻胶回收装置 [P].

贺武峰 ;

吴想 .

中国专利 :CN216927370U ,2022-07-08

[9]

光刻胶回收系统 [P].

齐永莲 ;

赵吉生 ;

薛建设 .

中国专利 :CN102707585A ,2012-10-03

[10]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

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