光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201520028532.6
申请日
2015-01-15
公开(公告)号
CN204347432U
公开(公告)日
2015-05-20
发明(设计)人
汪良恩 汪曦凌 伍银辉
申请人
申请人地址
247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号
IPC主分类号
G03F716
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
王宝筠
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻胶涂布装置 [P]. 
李明欣 ;
朱成云 ;
古哲安 ;
黄志凯 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20
[2]
光刻胶涂布装置 [P]. 
潘昌雷 .
中国专利 :CN209231710U ,2019-08-09
[3]
光刻胶涂布装置 [P]. 
刘庆超 ;
徐丽芝 ;
颜廷彪 ;
黄志凯 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN110133966A ,2019-08-16
[4]
光刻胶涂布装置 [P]. 
张海陆 ;
颜廷彪 ;
叶日铨 ;
黄志凯 .
中国专利 :CN208432846U ,2019-01-25
[5]
光刻胶涂布装置 [P]. 
焦宇 ;
张学智 ;
宋瑞涛 ;
王辉 ;
苏九端 ;
王江 ;
刘杰 .
中国专利 :CN101995773B ,2011-03-30
[6]
光刻胶涂布装置 [P]. 
李波 ;
刘小虎 .
中国专利 :CN112558418A ,2021-03-26
[7]
光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
杨涛 ;
李俊峰 ;
王文武 .
中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18
[8]
光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
崔栽荣 ;
丁明正 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
王桂磊 ;
白国斌 .
中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01
[9]
光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
刘新 ;
李宗怿 ;
潘波 ;
朱贞颖 ;
江斐 ;
谢程阳 ;
王天玉 ;
张诺琦 .
中国专利 :CN121165397A ,2025-12-19
[10]
一种均匀布料光刻胶涂布吸头 [P]. 
杨江兵 ;
王晓伟 .
中国专利 :CN213023935U ,2021-04-20