光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511302465.7

申请日：

2025-09-12

公开(公告)号：

CN121165397A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

刘新李宗怿潘波朱贞颖江斐谢程阳王天玉张诺琦

申请人：

长电集成电路（绍兴）有限公司

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市越城区临江路500号

IPC主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

B05C11/10 B05C5/00 G05B13/04

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

成亚婷

法律状态：

公开

国省代码：

吉林省白山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

崔栽荣 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01

[2]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[3]

一种光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

张智勇 ;

李佳珍 ;

叶正豪 .

中国专利 :CN120306209A ,2025-07-15

[4]

光刻胶涂布喷嘴及具有其的光刻胶涂布设备 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

李亭亭 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111739823A ,2020-10-02

[5]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[6]

光刻胶涂布方法 [P].

林锺吉 ;

金在植 ;

张成根 ;

金成昱 ;

梁贤石 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114967346B ,2025-05-16

[7]

光刻胶涂布方法 [P].

王耀增 ;

罗丁硕 ;

杨然富 ;

赵弘文 ;

蔡孟霖 .

中国专利 :CN108490739A ,2018-09-04

[8]

光刻胶涂布方法 [P].

周顺杰 ;

田亮亮 ;

龚燕飞 .

中国专利 :CN119126494A ,2024-12-13

[9]

光刻胶涂布方法 [P].

栾会倩 ;

吴长明 ;

姚振海 .

中国专利 :CN113204172A ,2021-08-03

[10]

一种光刻胶涂布设备及涂布方法 [P].

程双阳 ;

姜照育 ;

董延安 .

中国专利 :CN118988647A ,2024-11-22

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