光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法

被引：0

申请号：

CN202011583122.X

申请日：

2020-12-28

公开(公告)号：

CN114690564A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

崔栽荣丁明正贺晓彬刘强王桂磊白国斌

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

B05C502 B05C1110 B05C1302 B05D126

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

李晶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20201228
2022-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[2]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

刘新 ;

李宗怿 ;

潘波 ;

朱贞颖 ;

江斐 ;

谢程阳 ;

王天玉 ;

张诺琦 .

中国专利 :CN121165397A ,2025-12-19

[3]

一种光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

张智勇 ;

李佳珍 ;

叶正豪 .

中国专利 :CN120306209A ,2025-07-15

[4]

光刻胶涂布方法 [P].

林锺吉 ;

金在植 ;

张成根 ;

金成昱 ;

梁贤石 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114967346B ,2025-05-16

[5]

光刻胶涂布喷嘴及具有其的光刻胶涂布设备 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

李亭亭 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111739823A ,2020-10-02

[6]

光刻胶涂布方法 [P].

栾会倩 ;

吴长明 ;

姚振海 .

中国专利 :CN113204172A ,2021-08-03

[7]

一种光刻胶涂布设备及涂布方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110874018A ,2020-03-10

[8]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[9]

光刻胶涂布方法 [P].

王耀增 ;

罗丁硕 ;

杨然富 ;

赵弘文 ;

蔡孟霖 .

中国专利 :CN108490739A ,2018-09-04

[10]

光刻胶涂布方法 [P].

周顺杰 ;

田亮亮 ;

龚燕飞 .

中国专利 :CN119126494A ,2024-12-13

← 1 2 3 4 5 →