一种光刻胶涂布设备及涂布方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811024986.0

申请日：

2018-09-04

公开(公告)号：

CN110874018A

公开(公告)日：

2020-03-10

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-10	公开	公开
2020-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20180904

共 50 条

[1]

一种光刻胶涂布设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208673043U ,2019-03-29

[2]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

崔栽荣 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01

[3]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

刘新 ;

李宗怿 ;

潘波 ;

朱贞颖 ;

江斐 ;

谢程阳 ;

王天玉 ;

张诺琦 .

中国专利 :CN121165397A ,2025-12-19

[4]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[5]

一种光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

张智勇 ;

李佳珍 ;

叶正豪 .

中国专利 :CN120306209A ,2025-07-15

[6]

一种光刻胶涂布设备及涂布方法 [P].

程双阳 ;

姜照育 ;

董延安 .

中国专利 :CN118988647A ,2024-11-22

[7]

一种光刻胶涂布设备 [P].

杨彬 .

中国专利 :CN223426994U ,2025-10-10

[8]

光刻胶涂布喷嘴及具有其的光刻胶涂布设备 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

李亭亭 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111739823A ,2020-10-02

[9]

一种针对量子点光刻胶的涂布设备及涂布方法 [P].

耿剑 ;

吴逸丰 ;

邱能裕 .

中国专利 :CN118259554B ,2024-08-23

[10]

一种针对量子点光刻胶的涂布设备及涂布方法 [P].

耿剑 ;

吴逸丰 ;

邱能裕 .

中国专利 :CN118259554A ,2024-06-28

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