一种光刻胶涂布设备及涂布方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411064064.8
申请日
2024-08-05
公开(公告)号
CN118988647A
公开(公告)日
2024-11-22
发明(设计)人
程双阳 姜照育 董延安
申请人
厦门芯瓷科技有限公司
申请人地址
361000 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区翔星路88号台湾科技企业育成中心C106L室
IPC主分类号
B05C1/12
IPC分类号
B05C1/08 B05C11/02 B05D1/28
代理机构
厦门呈睿知识产权代理有限公司 35298
代理人
林贤德
法律状态
著录事项变更
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
崔栽荣 ;
丁明正 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
王桂磊 ;
白国斌 .
中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01
[2]
光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
刘新 ;
李宗怿 ;
潘波 ;
朱贞颖 ;
江斐 ;
谢程阳 ;
王天玉 ;
张诺琦 .
中国专利 :CN121165397A ,2025-12-19
[3]
一种光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
张智勇 ;
李佳珍 ;
叶正豪 .
中国专利 :CN120306209A ,2025-07-15
[4]
光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
杨涛 ;
李俊峰 ;
王文武 .
中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18
[5]
一种光刻胶涂布设备及涂布方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN110874018A ,2020-03-10
[6]
光刻胶涂布喷嘴及具有其的光刻胶涂布设备 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
李亭亭 ;
杨涛 ;
李俊峰 ;
王文武 .
中国专利 :CN111739823A ,2020-10-02
[7]
一种光刻胶涂布设备 [P]. 
林高弘 .
中国专利 :CN221686815U ,2024-09-10
[8]
一种光刻胶涂布设备 [P]. 
杨彬 .
中国专利 :CN223426994U ,2025-10-10
[9]
一种光刻胶涂布设备 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN208673043U ,2019-03-29
[10]
边缘涂布装置和光刻胶涂布设备 [P]. 
鲁泽 ;
李俊杰 ;
黄志凯 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN208953888U ,2019-06-07