边缘涂布装置和光刻胶涂布设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821973491.8

申请日：

2018-11-28

公开(公告)号：

CN208953888U

公开(公告)日：

2019-06-07

发明(设计)人：

鲁泽李俊杰黄志凯叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;董琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

崔栽荣 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01

[2]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

刘新 ;

李宗怿 ;

潘波 ;

朱贞颖 ;

江斐 ;

谢程阳 ;

王天玉 ;

张诺琦 .

中国专利 :CN121165397A ,2025-12-19

[3]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[4]

光刻胶涂布方法和涂布装置 [P].

李飞 ;

李文亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN112255885A ,2021-01-22

[5]

光刻胶涂布喷嘴及具有其的光刻胶涂布设备 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

李亭亭 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111739823A ,2020-10-02

[6]

一种光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

张智勇 ;

李佳珍 ;

叶正豪 .

中国专利 :CN120306209A ,2025-07-15

[7]

液体供给装置和光刻胶涂布设备 [P].

由振琪 ;

王建峰 ;

祝磊 ;

蔺连杰 ;

吴凯民 .

中国专利 :CN204009352U ,2014-12-10

[8]

光刻胶涂布装置 [P].

李波 ;

刘小虎 .

中国专利 :CN112558418A ,2021-03-26

[9]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[10]

光刻胶涂布装置及涂布方法 [P].

王进钦 ;

田龙 ;

方震宇 .

中国专利 :CN119087746A ,2024-12-06

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