光刻胶涂布装置及涂布方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411211433.1

申请日：

2024-08-30

公开(公告)号：

CN119087746A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

王进钦田龙方震宇

申请人：

重庆芯联微电子有限公司

申请人地址：

401331 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153

IPC主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/42 H01L21/67 B05C9/12 B05C5/02

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

罗泳文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/16申请日:20240830
2024-12-06	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻胶涂布方法和涂布装置 [P].

李飞 ;

李文亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN112255885A ,2021-01-22

[2]

光刻胶涂布装置 [P].

李波 ;

刘小虎 .

中国专利 :CN112558418A ,2021-03-26

[3]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[4]

光刻胶涂布方法 [P].

周顺杰 ;

田亮亮 ;

龚燕飞 .

中国专利 :CN119126494A ,2024-12-13

[5]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

崔栽荣 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01

[6]

光刻胶涂布方法 [P].

栾会倩 ;

吴长明 ;

姚振海 .

中国专利 :CN113204172A ,2021-08-03

[7]

光刻胶涂布装置 [P].

张海陆 ;

颜廷彪 ;

叶日铨 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN208432846U ,2019-01-25

[8]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

刘新 ;

李宗怿 ;

潘波 ;

朱贞颖 ;

江斐 ;

谢程阳 ;

王天玉 ;

张诺琦 .

中国专利 :CN121165397A ,2025-12-19

[9]

光刻胶涂布系统及涂布方法 [P].

易伟华 ;

张迅 ;

郑芳平 ;

徐彬彬 ;

洪华俊 .

中国专利 :CN110787967A ,2020-02-14

[10]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

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