光刻胶涂布装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821257336.6

申请日：

2018-08-06

公开(公告)号：

CN208432846U

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

张海陆颜廷彪叶日铨黄志凯

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-25	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[2]

光刻胶涂布装置 [P].

李明欣 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20

[3]

光刻胶涂布装置 [P].

潘昌雷 .

中国专利 :CN209231710U ,2019-08-09

[4]

光刻胶涂布装置 [P].

李波 ;

刘小虎 .

中国专利 :CN112558418A ,2021-03-26

[5]

光刻胶涂布装置 [P].

焦宇 ;

张学智 ;

宋瑞涛 ;

王辉 ;

苏九端 ;

王江 ;

刘杰 .

中国专利 :CN101995773B ,2011-03-30

[6]

光刻胶涂布装置 [P].

刘庆超 ;

徐丽芝 ;

颜廷彪 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN110133966A ,2019-08-16

[7]

光刻胶涂布装置及涂布方法 [P].

王进钦 ;

田龙 ;

方震宇 .

中国专利 :CN119087746A ,2024-12-06

[8]

光刻胶涂布方法 [P].

栾会倩 ;

吴长明 ;

姚振海 .

中国专利 :CN113204172A ,2021-08-03

[9]

一种边缘光刻胶去除装置及光刻胶涂布装置 [P].

薛征 ;

叶日铨 ;

黄志凯 ;

李俊杰 .

中国专利 :CN210109551U ,2020-02-21

[10]

光刻胶涂布方法和涂布装置 [P].

李飞 ;

李文亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN112255885A ,2021-01-22

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