光刻胶涂布装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821257336.6

申请日：

2018-08-06

公开(公告)号：

CN208432846U

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

张海陆颜廷彪叶日铨黄志凯

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-25	授权	授权

共 50 条

[21]

一种光刻胶涂布头及涂布装置 [P].

李伟 ;

王建峰 ;

刘富军 ;

魏崇喜 .

中国专利 :CN202881098U ,2013-04-17

[22]

一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 [P].

杜景龙 ;

杨辉 ;

承小辉 ;

路朝华 .

中国专利 :CN205334053U ,2016-06-22

[23]

光刻胶涂布系统 [P].

黄良志 ;

周瑶亮 .

中国专利 :CN101122746A ,2008-02-13

[24]

光刻胶涂布方法 [P].

林锺吉 ;

金在植 ;

张成根 ;

金成昱 ;

梁贤石 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114967346B ,2025-05-16

[25]

光刻胶涂布方法 [P].

王耀增 ;

罗丁硕 ;

杨然富 ;

赵弘文 ;

蔡孟霖 .

中国专利 :CN108490739A ,2018-09-04

[26]

光刻胶涂布系统 [P].

林锺吉 ;

金在植 ;

张成根 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

周娜 .

中国专利 :CN114859658A ,2022-08-05

[27]

光刻胶涂布方法 [P].

周顺杰 ;

田亮亮 ;

龚燕飞 .

中国专利 :CN119126494A ,2024-12-13

[28]

扫描式光刻胶涂布系统 [P].

吴明锋 .

中国专利 :CN208705657U ,2019-04-05

[29]

一种光刻胶涂布装置 [P].

宫奎 ;

段献学 ;

刘天真 ;

陈程 .

中国专利 :CN106547169A ,2017-03-29

[30]

边缘涂布装置和光刻胶涂布设备 [P].

鲁泽 ;

李俊杰 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208953888U ,2019-06-07

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