扫描式光刻胶涂布系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821480547.6

申请日：

2018-09-11

公开(公告)号：

CN208705657U

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

吴明锋

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

扫描式光刻胶涂布系统及方法 [P].

吴明锋 .

中国专利 :CN110888302A ,2020-03-17

[2]

光刻胶涂布系统 [P].

黄良志 ;

周瑶亮 .

中国专利 :CN101122746A ,2008-02-13

[3]

光刻胶涂布系统 [P].

林锺吉 ;

金在植 ;

张成根 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

周娜 .

中国专利 :CN114859658A ,2022-08-05

[4]

光刻胶涂布装置 [P].

李波 ;

刘小虎 .

中国专利 :CN112558418A ,2021-03-26

[5]

光刻胶涂布装置 [P].

张海陆 ;

颜廷彪 ;

叶日铨 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN208432846U ,2019-01-25

[6]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[7]

一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 [P].

杜景龙 ;

杨辉 ;

承小辉 ;

路朝华 .

中国专利 :CN205334053U ,2016-06-22

[8]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187A ,2020-11-06

[9]

光刻胶涂布系统及涂布方法 [P].

易伟华 ;

张迅 ;

郑芳平 ;

徐彬彬 ;

洪华俊 .

中国专利 :CN110787967A ,2020-02-14

[10]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187B ,2024-04-16

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