光刻胶涂布装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910399895.3

申请日：

2019-05-14

公开(公告)号：

CN110133966A

公开(公告)日：

2019-08-16

发明(设计)人：

刘庆超徐丽芝颜廷彪黄志凯叶日铨

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/16 申请公布日:20190816
2019-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20190514
2019-08-16	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[2]

光刻胶涂布装置 [P].

李明欣 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20

[3]

光刻胶涂布装置 [P].

焦宇 ;

张学智 ;

宋瑞涛 ;

王辉 ;

苏九端 ;

王江 ;

刘杰 .

中国专利 :CN101995773B ,2011-03-30

[4]

光刻胶涂布装置 [P].

潘昌雷 .

中国专利 :CN209231710U ,2019-08-09

[5]

光刻胶涂布装置 [P].

李波 ;

刘小虎 .

中国专利 :CN112558418A ,2021-03-26

[6]

光刻胶涂布装置 [P].

张海陆 ;

颜廷彪 ;

叶日铨 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN208432846U ,2019-01-25

[7]

光刻胶涂布方法和涂布装置 [P].

李飞 ;

李文亮 ;

吴鹏 .

中国专利 :CN112255885A ,2021-01-22

[8]

光刻胶涂布装置及涂布方法 [P].

王进钦 ;

田龙 ;

方震宇 .

中国专利 :CN119087746A ,2024-12-06

[9]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[10]

光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

崔栽荣 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114690564A ,2022-07-01

← 1 2 3 4 5 →