一种均匀布料光刻胶涂布吸头

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022445170.4
申请日
2020-10-28
公开(公告)号
CN213023935U
公开(公告)日
2021-04-20
发明(设计)人
杨江兵 王晓伟
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10幢102室
IPC主分类号
G03F716
IPC分类号
代理机构
成都明涛智创专利代理有限公司 51289
代理人
毕雅凤
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P]. 
汪良恩 ;
汪曦凌 ;
伍银辉 .
中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20
[2]
一种光刻胶涂布装置 [P]. 
高梁 ;
罗启祥 .
中国专利 :CN223284505U ,2025-08-29
[3]
光刻胶涂布装置 [P]. 
李明欣 ;
朱成云 ;
古哲安 ;
黄志凯 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20
[4]
光刻胶涂布装置 [P]. 
潘昌雷 .
中国专利 :CN209231710U ,2019-08-09
[5]
光刻胶涂布装置 [P]. 
刘庆超 ;
徐丽芝 ;
颜廷彪 ;
黄志凯 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN110133966A ,2019-08-16
[6]
光刻胶涂布装置 [P]. 
张海陆 ;
颜廷彪 ;
叶日铨 ;
黄志凯 .
中国专利 :CN208432846U ,2019-01-25
[7]
一种涂布稳定的光刻胶涂布装置 [P]. 
葛文志 .
中国专利 :CN221225317U ,2024-06-25
[8]
一种涂布稳定的光刻胶涂布装置 [P]. 
宗健 ;
曾利萍 ;
李红岩 .
中国专利 :CN215264370U ,2021-12-21
[9]
改善光刻胶涂布均匀性的装置 [P]. 
丁凯 ;
黄寓洋 .
中国专利 :CN217386134U ,2022-09-06
[10]
一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 [P]. 
杜景龙 ;
杨辉 ;
承小辉 ;
路朝华 .
中国专利 :CN205334053U ,2016-06-22