一种三维微结构的制作方法及其曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01108436.7

申请日：

2001-05-16

公开(公告)号：

CN1385759A

公开(公告)日：

2002-12-18

发明(设计)人：

曾红军陈波杜春雷郭履容

申请人：

申请人地址：

610209四川双流350信箱

IPC主分类号：

G03F722

IPC分类号：

G02B2722

代理机构：

成都信博专利代理有限责任公司

代理人：

张一红;王庆理

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-10-19	授权	授权
2002-12-18	公开	公开
2010-09-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101005219066 IPC(主分类):G03F 7/22 专利号:ZL011084367 申请日:20010516 授权公告日:20051019

共 50 条

[1]

三维微结构以及制造三维微结构的方法 [P].

G·L·马修 ;

T·方 ;

E·D·霍博斯 .

中国专利 :CN101336466A ,2008-12-31

[2]

一种三维微结构加工方法及三维微结构 [P].

雷建国 ;

伍晓宇 ;

伍博 ;

徐斌 ;

周志文 ;

程蓉 ;

钟金明 ;

朱立宽 ;

赵航 .

中国专利 :CN111037015A ,2020-04-21

[3]

三维人像的制作方法及其装置 [P].

温永璋 .

中国专利 :CN1814459A ,2006-08-09

[4]

三维立体封装结构及其制作方法 [P].

杨国江 ;

高军明 ;

于世珩 .

中国专利 :CN115172310B ,2022-11-29

[5]

玻璃三维微结构制备方法和玻璃三维微结构制备装置 [P].

徐少林 ;

姚丽 ;

徐康 ;

黄凌羽 ;

黄沛霖 ;

李宗尧 ;

仲帅 ;

于洪宇 .

中国专利 :CN117983968A ,2024-05-07

[6]

三维微结构及其形成方法 [P].

D·W·舍利尔 ;

C·A·尼克尔斯 ;

S·周 .

中国专利 :CN101274736A ,2008-10-01

[7]

三维微结构及其形成方法 [P].

W·D·霍克 ;

D·W·舍利尔 .

中国专利 :CN101274734A ,2008-10-01

[8]

三维微结构及其形成方法 [P].

C·A·尼克尔斯 ;

S·周 ;

W·D·霍克 .

中国专利 :CN101274735B ,2008-10-01

[9]

一种构筑三维微结构的方法 [P].

吕男 ;

胡伟 ;

吴英 ;

迟力峰 .

中国专利 :CN101024482A ,2007-08-29

[10]

一种三维微结构的刻蚀方法及其应用 [P].

刘侃 ;

高易凡 ;

张守坤 ;

张南刚 ;

李颂战 .

中国专利 :CN107204288A ,2017-09-26

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