半导体器件光学检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710040298.9

申请日：

2007-04-29

公开(公告)号：

CN101294864A

公开(公告)日：

2008-10-29

发明(设计)人：

梁金刚陈亮许俊

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G01M1100

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

陆嘉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-29	公开	公开
2008-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-05-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101365730569 IPC(主分类):G01M 11/00 专利申请号:2007100402989 公开日:20081029

共 50 条

[1]

半导体器件缺陷的光学检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN104122272A ,2014-10-29

[2]

半导体器件检测装置以及半导体器件检测方法 [P].

柳弘俊 ;

尹芸重 .

中国专利 :CN102778642B ,2012-11-14

[3]

半导体器件检测装置以及半导体器件检测方法 [P].

柳弘俊 ;

尹芸重 .

中国专利 :CN102214549A ,2011-10-12

[4]

光学检测装置及光学检测方法 [P].

杨善 ;

龚士勋 ;

黄彦桦 .

中国专利 :CN119845149A ,2025-04-18

[5]

光学检测方法及光学检测装置 [P].

安浦雅人 ;

藤卷真 ;

芦叶裕树 ;

岛隆之 .

中国专利 :CN109154561B ,2019-01-04

[6]

光学检测装置及光学检测方法 [P].

王珂 .

中国专利 :CN109916597A ,2019-06-21

[7]

光学检测装置及光学检测方法 [P].

张凌宇 .

中国专利 :CN109901314A ,2019-06-18

[8]

光学检测装置及光学检测方法 [P].

周上杰 ;

江雅雯 .

中国专利 :CN101487934B ,2009-07-22

[9]

光学检测方法、光学检测装置及光学检测系统 [P].

安比卡帕亚鲁木鲁甘 ;

徐敏堂 ;

陆家樑 ;

方志恒 .

中国专利 :CN110658198A ,2020-01-07

[10]

半导体光学检测方法及系统 [P].

孔寒夫 ;

兰艳平 .

中国专利 :CN114813770A ,2022-07-29

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