半导体光学检测方法及系统

被引：0

申请号：

CN202210296167.1

申请日：

2022-03-24

公开(公告)号：

CN114813770A

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

孔寒夫兰艳平

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区祖冲之路899弄11号楼

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

G01N2188 G01N2101

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	公开	公开
2022-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20220324

共 50 条

[1]

多功能性半导体光学系统以及光学检测方法 [P].

赖宪平 ;

许睿然 .

中国专利 :CN114252447A ,2022-03-29

[2]

多功能性半导体光学系统以及光学检测方法 [P].

赖宪平 ;

许睿然 .

中国专利 :CN114252447B ,2024-05-03

[3]

半导体器件光学检测装置及检测方法 [P].

梁金刚 ;

陈亮 ;

许俊 .

中国专利 :CN101294864A ,2008-10-29

[4]

照明装置、照明方法及半导体光学检测系统 [P].

邵加强 ;

请求不公布姓名 ;

孟烨南 ;

王方江 .

中国专利 :CN121007900A ,2025-11-25

[5]

镜片夹持机构、光学系统及半导体光学检测设备 [P].

赵文斌 ;

朱常兴 ;

蒋健君 ;

王志康 ;

齐孟宗 .

中国专利 :CN222689617U ,2025-03-28

[6]

半导体器件缺陷的光学检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN104122272A ,2014-10-29

[7]

半导体结构、检测方法及检测系统 [P].

陈彦樵 .

中国专利 :CN118425724A ,2024-08-02

[8]

光学检测系统及光学检测方法 [P].

柯俊宇 ;

吴祖修 .

中国专利 :CN113176076A ,2021-07-27

[9]

光学检测系统及光学检测方法 [P].

龙文彬 .

中国专利 :CN101275827A ,2008-10-01

[10]

光学检测方法及光学检测系统 [P].

高鸿飞 ;

高琪 ;

陈广飞 ;

马纪艳 .

中国专利 :CN106442540A ,2017-02-22

← 1 2 3 4 5 →