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镜片夹持机构、光学系统及半导体光学检测设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202421005301.9
申请日
:
2024-05-10
公开(公告)号
:
CN222689617U
公开(公告)日
:
2025-03-28
发明(设计)人
:
赵文斌
朱常兴
蒋健君
王志康
齐孟宗
申请人
:
北京奥普托科微电子技术有限公司
申请人地址
:
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号2号楼5层502-B11
IPC主分类号
:
G01N21/01
IPC分类号
:
G01N21/95
代理机构
:
北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587
代理人
:
张婷婷;杨彦鸿
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-03-28
授权
授权
共 50 条
[1]
光学系统以及检测设备
[P].
何泊衢
论文数:
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
何泊衢
;
杨长英
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
杨长英
;
高志民
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
高志民
;
王南朔
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
王南朔
;
马砚忠
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
马砚忠
;
陈鲁
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
陈鲁
;
张嵩
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机构:
上海中科飞测半导体科技有限公司
上海中科飞测半导体科技有限公司
张嵩
.
中国专利
:CN222105753U
,2024-12-03
[2]
多功能性半导体光学系统以及光学检测方法
[P].
赖宪平
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机构:
由田新技股份有限公司
由田新技股份有限公司
赖宪平
;
许睿然
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机构:
由田新技股份有限公司
由田新技股份有限公司
许睿然
.
中国专利
:CN114252447B
,2024-05-03
[3]
多功能性半导体光学系统以及光学检测方法
[P].
赖宪平
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赖宪平
;
许睿然
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许睿然
.
中国专利
:CN114252447A
,2022-03-29
[4]
光学系统及自动光学检测设备
[P].
鲍杰
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鲍杰
.
中国专利
:CN107228859A
,2017-10-03
[5]
光学系统、光学检测设备和检测方法
[P].
王俊杰
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机构:
北京超维景生物科技有限公司
北京超维景生物科技有限公司
王俊杰
.
中国专利
:CN120491299A
,2025-08-15
[6]
物镜、光学成像设备、光学系统以及光学系统检测方法
[P].
王海龙
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王海龙
;
丁松园
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丁松园
;
张彬彬
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张彬彬
;
田中群
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田中群
.
中国专利
:CN114200636A
,2022-03-18
[7]
半导体激光测距机光学系统
[P].
杨耀富
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杨耀富
;
王利
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王利
;
朱振军
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朱振军
;
曹春青
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曹春青
;
卢金英
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卢金英
.
中国专利
:CN202614217U
,2012-12-19
[8]
用于半导体光刻的光学系统
[P].
F·梅尔泽
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F·梅尔泽
;
关彦彬
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关彦彬
;
S·萨尔特
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S·萨尔特
;
D·菲奥尔卡
论文数:
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D·菲奥尔卡
.
中国专利
:CN101517488A
,2009-08-26
[9]
电子光学系统校准装置及半导体检测设备
[P].
许鸿亮
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
许鸿亮
;
米涛
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
米涛
;
张禧晨
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
张禧晨
;
张之光
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
张之光
.
中国专利
:CN119852227A
,2025-04-18
[10]
一种用于半导体的缺陷检测光学系统
[P].
吴迪
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吴迪
;
黄岚
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黄岚
;
杨帆
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杨帆
;
高锦龙
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高锦龙
.
中国专利
:CN115524345A
,2022-12-27
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