一种利用强化玻璃的超薄晶减薄切割工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110339399.6

申请日：

2021-03-30

公开(公告)号：

CN113053798A

公开(公告)日：

2021-06-29

发明(设计)人：

严立巍符德荣李景贤文锺陈政勋

申请人：

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市越城区银桥路326号(原永和酒业)1幢1楼113室

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2178

代理机构：

北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357

代理人：

徐昶

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-29	公开	公开
2021-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20210330

共 50 条

[1]

一种超薄玻璃减薄工艺 [P].

易伟华 ;

张迅 ;

谢凯立 ;

杨会良 ;

徐艳勇 .

中国专利 :CN114573243A ,2022-06-03

[2]

一种超薄晶圆减薄工艺 [P].

戴直义 .

中国专利 :CN115938927B ,2024-02-09

[3]

一种单面减薄超薄玻璃切割解离结构 [P].

罗代荣 ;

高坤旭 ;

李文铭 ;

潘明明 .

中国专利 :CN222097226U ,2024-12-03

[4]

强化玻璃的减薄方法 [P].

陈善芳 .

中国专利 :CN107601914A ,2018-01-19

[5]

强化玻璃的减薄方法 [P].

高志文 ;

刘玉华 ;

林虹云 ;

赵贤祥 ;

代琴峰 .

中国专利 :CN105236755A ,2016-01-13

[6]

一种超薄玻璃减薄装置 [P].

陈泽鑫 ;

许绍雄 ;

洪嘉乐 ;

张朗溪 ;

林永佳 ;

刘安 .

中国专利 :CN217499079U ,2022-09-27

[7]

一种强化、减薄含铈超薄玻璃盖片的药剂及其制备工艺 [P].

朱解祖 ;

朱雪松 .

中国专利 :CN121020996A ,2025-11-28

[8]

一种超薄晶圆减薄方法 [P].

秦飞 ;

孙敬龙 ;

安彤 ;

王仲康 ;

唐亮 .

中国专利 :CN104078345B ,2014-10-01

[9]

一种用于超薄玻璃基板减薄工艺的载具 [P].

周晧煜 ;

蒋承忠 ;

吴天鸣 ;

黄俊杰 ;

危伟 ;

余新胜 ;

花勇 ;

肖帅 ;

陈风 .

中国专利 :CN214781508U ,2021-11-19

[10]

一种超薄晶圆减薄以及背面金属蒸镀的工艺方法 [P].

严立巍 ;

文锺 ;

符德荣 .

中国专利 :CN112466807B ,2024-05-24

← 1 2 3 4 5 →