一种新型高真空镀膜腔室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821944567.4

申请日：

2018-11-24

公开(公告)号：

CN209522916U

公开(公告)日：

2019-10-22

发明(设计)人：

杜宝胜

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548

代理人：

宋翡翠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

高真空镀膜腔室 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN306704749S ,2021-07-23

[2]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[3]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

[4]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[5]

一种真空镀膜腔室 [P].

臧伟 ;

罗能铁 .

中国专利 :CN220952034U ,2024-05-14

[6]

玻璃真空镀膜腔室 [P].

聂宏波 ;

贺强 ;

何磊 ;

钟小林 ;

刘文体 ;

余洪书 ;

张霄 .

中国专利 :CN208308692U ,2019-01-01

[7]

一种新型真空镀膜室 [P].

张东琴 ;

陈先锋 ;

马尔松 .

中国专利 :CN204455276U ,2015-07-08

[8]

一种新型真空镀膜室 [P].

何磊 ;

穆义林 ;

王波 ;

曾兵 ;

聂宏波 ;

叶海铭 ;

陈睿 .

中国专利 :CN210215537U ,2020-03-31

[9]

一种真空镀膜腔室门吸附结构 [P].

朱九菊 ;

刘年生 ;

安建昊 ;

唐欢欢 ;

许帮洪 ;

赵剑光 .

中国专利 :CN221275880U ,2024-07-05

[10]

一种真空镀膜用集成腔室 [P].

康宗海 .

中国专利 :CN213507163U ,2021-06-22

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