一种真空镀膜用集成腔室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022071818.6

申请日：

2020-09-18

公开(公告)号：

CN213507163U

公开(公告)日：

2021-06-22

发明(设计)人：

康宗海

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区观湖街道新田社区创新工业园17号D栋厂房101一楼，二楼B区

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

C23C1456 C23C1454

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

谭雪婷;刘曰莹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜用集成腔室 [P].

么曼实 ;

闫风 .

中国专利 :CN207828407U ,2018-09-07

[2]

一种真空镀膜用集成腔室 [P].

么曼实 ;

闫风 .

中国专利 :CN107858666A ,2018-03-30

[3]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[4]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

[5]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[6]

一种真空镀膜腔室 [P].

臧伟 ;

罗能铁 .

中国专利 :CN220952034U ,2024-05-14

[7]

玻璃真空镀膜腔室 [P].

聂宏波 ;

贺强 ;

何磊 ;

钟小林 ;

刘文体 ;

余洪书 ;

张霄 .

中国专利 :CN208308692U ,2019-01-01

[8]

一种真空镀膜用真空室 [P].

黄小玲 ;

王丽娟 .

中国专利 :CN212770939U ,2021-03-23

[9]

高真空镀膜腔室 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN306704749S ,2021-07-23

[10]

一种新型高真空镀膜腔室 [P].

杜宝胜 .

中国专利 :CN209522916U ,2019-10-22

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