一种接近式软膜曝光微纳陷光结构的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610489978.8
申请日
2016-06-28
公开(公告)号
CN106098843B
公开(公告)日
2016-11-09
发明(设计)人
涂亮亮 刘亚坤 林建男 魏明德
申请人
申请人地址
221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路98号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
代理机构
徐州市三联专利事务所 32220
代理人
周爱芳
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
利用银镜反应制备硅表面陷光结构的方法 [P]. 
李美成 ;
任霄峰 ;
姜冰 ;
白帆 ;
宋丹丹 .
中国专利 :CN102304766B ,2012-01-04
[2]
太阳能电池微纳尺寸陷光结构、太阳能电池及其制备方法 [P]. 
盛赟 .
中国专利 :CN105304733A ,2016-02-03
[3]
具有疏水性的硅表面陷光结构制备方法 [P]. 
李美成 ;
任霄峰 ;
齐哲 .
中国专利 :CN102102227A ,2011-06-22
[4]
一种多晶硅表面微纳复合结构的制备方法 [P]. 
张登英 ;
赵风周 ;
张立春 ;
许家沛 ;
黄玉鹏 ;
罗兴 .
中国专利 :CN109103301B ,2018-12-28
[5]
一种微纳结构太阳能电池及其背面陷光结构的制备方法 [P]. 
李海华 ;
王庆康 .
中国专利 :CN103943716B ,2014-07-23
[6]
一种基于LSP效应陷光增效新型减反射结构的制备方法 [P]. 
李美成 ;
戴菡 ;
丁瑞强 ;
陈召 ;
谷田生 ;
范汇洋 .
中国专利 :CN103022266A ,2013-04-03
[7]
具有陷光结构的叠层钝化结构的制备方法 [P]. 
陈庆敏 ;
李丙科 ;
陈加朋 ;
卓倩武 .
中国专利 :CN117410386B ,2024-03-19
[8]
具有陷光结构的叠层钝化结构的制备方法 [P]. 
陈庆敏 ;
李丙科 ;
陈加朋 ;
卓倩武 .
中国专利 :CN117410386A ,2024-01-16
[9]
一种微纳复合结构光提取膜的制备方法 [P]. 
周雄图 ;
赖晓聪 ;
郭太良 ;
张永爱 ;
吴朝兴 ;
林志贤 ;
严群 .
中国专利 :CN111146367B ,2020-05-12
[10]
一种减反陷光膜及其制备方法 [P]. 
崔洪涛 ;
方晓龙 ;
齐孝文 ;
谢心怡 ;
刘成岭 ;
陈祥富 ;
赵玉全 ;
滕超 ;
陈肖洁 ;
王友福 .
中国专利 :CN117646179A ,2024-03-05