一种高密度相变存储器的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010139053.3
申请日
2010-03-31
公开(公告)号
CN101814579B
公开(公告)日
2010-08-25
发明(设计)人
程凯芳 王晓峰 王晓东 张加勇 马慧莉 杨富华
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
H01L4500
IPC分类号
H01L21768
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
汤保平
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[6]
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[7]
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