镀膜腔室检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520431934.0

申请日：

2015-06-23

公开(公告)号：

CN204807115U

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

贺强

申请人：

申请人地址：

641200 四川省内江市资中县资州大道惠民花园一幢二单元

IPC主分类号：

G01D2100

IPC分类号：

代理机构：

成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229

代理人：

李蕊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

镀膜腔室 [P].

王刚 ;

周伟东 .

中国专利 :CN209065993U ,2019-07-05

[2]

玻璃真空镀膜腔室 [P].

聂宏波 ;

贺强 ;

何磊 ;

钟小林 ;

刘文体 ;

余洪书 ;

张霄 .

中国专利 :CN208308692U ,2019-01-01

[3]

镀膜腔室铲毛刺装置 [P].

司立彬 ;

潘清涛 ;

闫雨 .

中国专利 :CN213255822U ,2021-05-25

[4]

一种真空溅射腔室镀膜衬底温度检测装置 [P].

邓重 ;

年志强 ;

罗友菊 .

中国专利 :CN220380619U ,2024-01-23

[5]

过渡腔室和镀膜设备 [P].

龙梅丽 .

中国专利 :CN218026326U ,2022-12-13

[6]

真空干燥镀膜腔室、设备 [P].

左国军 ;

侯岳明 ;

朱海剑 ;

芦伟 ;

戴宇星 .

中国专利 :CN221335145U ,2024-07-16

[7]

反应腔室和镀膜设备 [P].

张兴 ;

孙红霞 ;

潘世荣 ;

李建勇 .

中国专利 :CN210420140U ,2020-04-28

[8]

镀膜设备的过渡腔室 [P].

龙梅丽 .

中国专利 :CN217948257U ,2022-12-02

[9]

真空镀膜腔室阀门启闭装置 [P].

贺强 .

中国专利 :CN204803401U ,2015-11-25

[10]

升降装置和真空镀膜腔室 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

崔汉夫 ;

李永杰 ;

张永琪 .

中国专利 :CN204779780U ,2015-11-18

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