真空镀膜腔室阀门启闭装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520432103.5

申请日：

2015-06-23

公开(公告)号：

CN204803401U

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

贺强

申请人：

申请人地址：

641200 四川省内江市资中县资州大道惠民花园一幢二单元

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229

代理人：

李蕊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[2]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

[3]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[4]

玻璃真空镀膜腔室 [P].

聂宏波 ;

贺强 ;

何磊 ;

钟小林 ;

刘文体 ;

余洪书 ;

张霄 .

中国专利 :CN208308692U ,2019-01-01

[5]

升降装置和真空镀膜腔室 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

崔汉夫 ;

李永杰 ;

张永琪 .

中国专利 :CN204779780U ,2015-11-18

[6]

高真空镀膜腔室 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN306704749S ,2021-07-23

[7]

真空反应腔室和真空镀膜设备 [P].

杨娜 .

中国专利 :CN211112211U ,2020-07-28

[8]

真空镀膜室 [P].

郭书周 .

中国专利 :CN206015078U ,2017-03-15

[9]

腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

李立升 ;

刘贵 .

中国专利 :CN114807889A ,2022-07-29

[10]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

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