腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置

被引：0

申请号：

CN202210539398.0

申请日：

2022-05-18

公开(公告)号：

CN114807889A

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

杨恺林海天李立升刘贵

申请人：

申请人地址：

523835 广东省东莞市大岭山镇百花洞马山庙路2号5栋401室、501室

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

何锋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20220518
2022-07-29	公开	公开

共 50 条

[1]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

[2]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[3]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[4]

真空镀膜腔和真空镀膜设备 [P].

杨恺 ;

林海天 ;

李立升 ;

刘贵 ;

董得平 .

中国专利 :CN114875381A ,2022-08-09

[5]

玻璃真空镀膜腔室 [P].

聂宏波 ;

贺强 ;

何磊 ;

钟小林 ;

刘文体 ;

余洪书 ;

张霄 .

中国专利 :CN208308692U ,2019-01-01

[6]

高真空镀膜腔室 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN306704749S ,2021-07-23

[7]

升降装置和真空镀膜腔室 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

崔汉夫 ;

李永杰 ;

张永琪 .

中国专利 :CN204779780U ,2015-11-18

[8]

真空反应腔室和真空镀膜设备 [P].

杨娜 .

中国专利 :CN211112211U ,2020-07-28

[9]

真空镀膜腔室、真空镀膜设备及其工件传送方法 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN113832445A ,2021-12-24

[10]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

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