一种大负载真空机械手用多轴传动磁流体密封装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721789521.5
申请日
2017-12-20
公开(公告)号
CN207701771U
公开(公告)日
2018-08-07
发明(设计)人
徐美婷 黄昌盛 楼允洪
申请人
申请人地址
310012 浙江省杭州市西湖区古翠路76号怡泰科技大厦501室
IPC主分类号
F16J1543
IPC分类号
F16C3504
代理机构
杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213
代理人
吴秉中
法律状态
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共 50 条
[1]
一种真空机械手的磁流体密封传动装置 [P]. 
雷世友 ;
张松华 .
中国专利 :CN212080168U ,2020-12-04
[2]
一种高负载磁流体密封装置 [P]. 
单平 ;
汤林军 .
中国专利 :CN217301589U ,2022-08-26
[3]
一种高负载磁流体密封装置 [P]. 
雷世友 ;
张松华 .
中国专利 :CN212080170U ,2020-12-04
[4]
一种高密封性多轴磁流体密封装置 [P]. 
雷世友 ;
张松华 .
中国专利 :CN220646758U ,2024-03-22
[5]
一种真空磁流体密封装置 [P]. 
腾安芝 ;
金龙钊 .
中国专利 :CN209026206U ,2019-06-25
[6]
一种高真空耐高温磁流体密封装置 [P]. 
雷世友 ;
张松华 .
中国专利 :CN212318783U ,2021-01-08
[7]
一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置 [P]. 
黄昌盛 ;
徐美婷 ;
楼允洪 .
中国专利 :CN207634655U ,2018-07-20
[8]
真空设备传动轴用磁流体密封传动装置 [P]. 
梁志华 ;
邓朝阳 ;
裴宁 ;
罗喜梅 .
中国专利 :CN2447582Y ,2001-09-12
[9]
真空镀膜传动机构用磁流体密封装置 [P]. 
朱殿荣 ;
曹俊 .
中国专利 :CN102588606A ,2012-07-18
[10]
一种凹阶梯轴磁流体密封装置 [P]. 
陈帆 ;
杨小龙 ;
孙彭 ;
郝付祥 ;
何美丽 .
中国专利 :CN207539343U ,2018-06-26