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晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910161398.X
申请日：
2019-03-04
公开(公告)号：
CN109848827A
公开(公告)日：
2019-06-07
发明(设计)人：
潘雪明 李鑫 苏静洪
申请人：
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B4100 B24B4106 B24B4712 B24B4720
代理机构：
上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309
代理人：
张明;王再朝
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-07-02 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20190304
2019-06-07 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN109848827B ,2024-04-30
[2]
晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN210281830U ,2020-04-10
[3]
晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN109877694A ,2019-06-14
[4]
边缘抛光头、晶圆边缘抛光装置和晶圆边缘抛光方法 [P]. 
梅晓熙 ;
张世凯 ;
常福佳 .
美国专利 :CN119820448A ,2025-04-15
[5]
晶圆边缘抛光装置 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN209831278U ,2019-12-24
[6]
边缘抛光头和晶圆边缘抛光装置 [P]. 
梅晓熙 ;
张世凯 ;
常福佳 .
美国专利 :CN221248288U ,2024-07-02
[7]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119369244B ,2025-04-15
[8]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119897783A ,2025-04-29
[9]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119369244A ,2025-01-28
[10]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119897783B ,2025-11-21
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