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晶圆边缘抛光方法和抛光装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510259289.7
申请日：
2024-12-30
公开(公告)号：
CN119897783B
公开(公告)日：
2025-11-21
发明(设计)人：
王凯杰 王科 郭垒 刘浩洋 庄鑫
申请人：
华海清科股份有限公司
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
IPC主分类号：
B24B21/00
IPC分类号：
B24B1/00 B24B21/18 B24B55/08 B24B47/20 B24B49/00 H01L21/67
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
天津市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-16 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 21/00申请日:20241230
2025-04-29 公开 公开
2025-11-21 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119369244B ,2025-04-15
[2]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119897783A ,2025-04-29
[3]
晶圆边缘抛光方法和抛光装置 [P]. 
王凯杰 ;
王科 ;
郭垒 ;
刘浩洋 ;
庄鑫 .
中国专利 :CN119369244A ,2025-01-28
[4]
边缘抛光头、晶圆边缘抛光装置和晶圆边缘抛光方法 [P]. 
梅晓熙 ;
张世凯 ;
常福佳 .
美国专利 :CN119820448A ,2025-04-15
[5]
晶圆边缘抛光装置及晶圆边缘抛光方法 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN109877694A ,2019-06-14
[6]
一种晶圆边缘抛光装置和抛光方法 [P]. 
路新春 ;
郭垒 ;
邢浩鑫 ;
杨洪建 .
中国专利 :CN120287146A ,2025-07-11
[7]
边缘抛光头和晶圆边缘抛光装置 [P]. 
梅晓熙 ;
张世凯 ;
常福佳 .
美国专利 :CN221248288U ,2024-07-02
[8]
晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN109848827B ,2024-04-30
[9]
晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN109848827A ,2019-06-07
[10]
晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置 [P]. 
潘雪明 ;
李鑫 ;
苏静洪 .
中国专利 :CN210281830U ,2020-04-10
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