一种新型高速数字扫描直写光刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420232691.3

申请日：

2014-05-08

公开(公告)号：

CN203825365U

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

李平贵张国龙马迪

申请人：

申请人地址：

215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209

代理人：

陈晓岷

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-24	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728442590 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20140910 申请日:20140508 专利号:ZL2014202326913 登记号:2014340000009 出质人:苏州微影光电科技有限公司质权人:安徽国元融资担保有限公司解除日:20160128
2014-09-10	授权	授权
2017-05-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101751255780 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2014202326913 变更事项:专利权人变更前:苏州微影光电科技有限公司变更后:苏州微影激光技术有限公司变更事项:地址变更前:215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司变更后:215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司
2015-03-11	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101711496417 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2014202326913 登记号:2014340000009 登记生效日:20141223 出质人:苏州微影光电科技有限公司质权人:安徽国元融资担保有限公司实用新型名称:一种新型高速数字扫描直写光刻装置申请日:20140508 授权公告日:20140910

共 50 条

[1]

一种新型高速数字扫描直写光刻装置 [P].

李平贵 ;

张国龙 ;

马迪 .

中国专利 :CN104007620A ,2014-08-27

[2]

高速数字扫描直写光刻装置 [P].

张雯 .

中国专利 :CN102103332A ,2011-06-22

[3]

高速数字扫描直写光刻装置 [P].

张雯 .

中国专利 :CN201993577U ,2011-09-28

[4]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN201097106Y ,2008-08-06

[5]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN101158817A ,2008-04-09

[6]

一种直写光刻设备图形数据高速传输装置 [P].

刘扬 .

中国专利 :CN210924186U ,2020-07-03

[7]

一种新型高功率高速无掩模光刻系统 [P].

曲鲁杰 ;

梅文辉 ;

杜卫冲 .

中国专利 :CN205827054U ,2016-12-21

[8]

一种新型激光直写式光刻运动平台 [P].

洪俊辉 ;

汪孝军 ;

梅文辉 .

中国专利 :CN215006247U ,2021-12-03

[9]

一种深紫外无掩模数字光刻模组及扫描光刻系统 [P].

吴星涛 ;

谢阿的 ;

杨哲 ;

胡宜楠 .

中国专利 :CN118466136A ,2024-08-09

[10]

一种直写光刻机构 [P].

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN210348189U ,2020-04-17

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