高速数字扫描直写光刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120064219.X

申请日：

2011-03-14

公开(公告)号：

CN201993577U

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

张雯

申请人：

申请人地址：

266300 山东省青岛市胶州市福州南路236号2号楼2单元101室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

江苏英特东华律师事务所 32229

代理人：

邵鋆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-28	授权	授权
2014-05-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101582069411 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL201120064219X 申请日:20110314 授权公告日:20110928 终止日期:20130314

共 50 条

[1]

高速数字扫描直写光刻装置 [P].

张雯 .

中国专利 :CN102103332A ,2011-06-22

[2]

一种新型高速数字扫描直写光刻装置 [P].

李平贵 ;

张国龙 ;

马迪 .

中国专利 :CN203825365U ,2014-09-10

[3]

一种新型高速数字扫描直写光刻装置 [P].

李平贵 ;

张国龙 ;

马迪 .

中国专利 :CN104007620A ,2014-08-27

[4]

直写光刻装置 [P].

何少锋 ;

靳莉 .

中国专利 :CN101650535A ,2010-02-17

[5]

直写光刻装置 [P].

陈志特 ;

王华 ;

王重桂 ;

吴中海 .

中国专利 :CN217085512U ,2022-07-29

[6]

直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机 [P].

王超 ;

梅文辉 ;

赵美云 ;

邵德洋 .

中国专利 :CN119556532A ,2025-03-04

[7]

基于FPGA的直写光刻数据采集装置及直写光刻设备 [P].

谢卫传 ;

贾刚 .

中国专利 :CN216772197U ,2022-06-17

[8]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN201097106Y ,2008-08-06

[9]

直写式光刻装置 [P].

吴斌 ;

朱亮 ;

王友车 ;

薛业保 ;

张国龙 .

中国专利 :CN204347441U ,2015-05-20

[10]

控制直写光刻机曝光的方法、装置和光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN111367147B ,2020-07-03

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