直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411904595.3

申请日：

2024-12-23

公开(公告)号：

CN119556532A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

王超梅文辉赵美云邵德洋

申请人：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

贾玉姣

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	公开	公开
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241223

共 50 条

[1]

控制直写光刻机曝光的方法、装置和光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN111367147B ,2020-07-03

[2]

控制直写式光刻机的方法和直写式光刻机 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN113934115A ,2022-01-14

[3]

直写式光刻机曝光控制系统 [P].

王正宏 .

中国专利 :CN201194067Y ,2009-02-11

[4]

光刻机（激光直写式） [P].

张华 ;

廖平强 ;

周川 ;

许艳 .

中国专利 :CN307361587S ,2022-05-24

[5]

直写式光刻机曝光对准装置及方法 [P].

李显杰 .

中国专利 :CN106773566A ,2017-05-31

[6]

直写式曝光系统及光刻机 [P].

陈超 ;

陈锡媛 ;

蔡自立 ;

零萍 .

中国专利 :CN117348351A ,2024-01-05

[7]

一种直写式光刻机的电控装置及直写式光刻机 [P].

王新旺 ;

刘涛 ;

杨振玲 .

中国专利 :CN206057793U ,2017-03-29

[8]

丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机 [P].

于成信 .

中国专利 :CN117706879A ,2024-03-15

[9]

一种直写式光刻机曝光方法 [P].

赵美云 .

中国专利 :CN110597019B ,2019-12-20

[10]

超大板直写式光刻机扫描曝光方法 [P].

陈海巍 .

中国专利 :CN106802538B ,2017-06-06

← 1 2 3 4 5 →