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丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410044152.5
申请日：
2024-01-11
公开(公告)号：
CN117706879A
公开(公告)日：
2024-03-15
发明(设计)人：
于成信
申请人：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京景闻知识产权代理有限公司 11742
代理人：
常鹏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240111 |
| 2024-03-15 | 公开 | 公开 |