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一种直写光刻机吸盘压板装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920437840.2
申请日：
2019-04-02
公开(公告)号：
CN209606772U
公开(公告)日：
2019-11-08
发明(设计)人：
胡刚
申请人：
申请人地址：
230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115
代理人：
奚华保
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人 变更前:合肥芯碁微电子装备有限公司 变更后:合肥芯碁微电子装备股份有限公司 变更事项:地址 变更前:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层 变更后:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层 |
| 2019-11-08 | 授权 | 授权 |