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一种晶圆转移设备

被引：0
申请号：
CN202221383880.1
申请日：
2022-06-02
公开(公告)号：
CN217405388U
公开(公告)日：
2022-09-09
发明(设计)人：
林士闵 郑志成 陈嘉勇 苏财宝
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
吴向青
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-09 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构 [P]. 
季林 ;
卞则军 .
中国专利 :CN216631645U ,2022-05-31
[2]
一种晶圆装载设备 [P]. 
陈德珍 ;
徐国品 ;
唐达新 .
中国专利 :CN220420550U ,2024-01-30
[3]
一种晶圆转移传输装置及晶圆转移传输方法 [P]. 
刘福强 ;
李欢 .
中国专利 :CN112086394A ,2020-12-15
[4]
一种晶圆转移系统 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
李国勇 ;
刘军峰 ;
李冰野 ;
郑英杰 ;
国建花 .
中国专利 :CN216288355U ,2022-04-12
[5]
一种晶圆转移系统 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
郑英杰 ;
国建花 ;
李国勇 .
中国专利 :CN216288353U ,2022-04-12
[6]
一种晶圆转移平台 [P]. 
许忠晖 ;
沈磊 ;
程仙强 .
中国专利 :CN218443772U ,2023-02-03
[7]
晶圆盒之间晶圆片转移装置 [P]. 
吴功 ;
黄盟峰 ;
李壮 .
中国专利 :CN207637767U ,2018-07-20
[8]
晶圆转移工具 [P]. 
余志军 .
中国专利 :CN204577411U ,2015-08-19
[9]
晶圆夹取装置及晶圆加工设备 [P]. 
周鑫 ;
胡小波 ;
刘炳先 ;
刘亚杰 ;
刘桂芳 .
中国专利 :CN221994448U ,2024-11-12
[10]
晶圆顶升装置和晶圆转移设备 [P]. 
夏子奂 .
中国专利 :CN121192045A ,2025-12-23
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