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一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构
被引：0
申请号：
CN202122578249.9
申请日：
2021-10-26
公开(公告)号：
CN216631645U
公开(公告)日：
2022-05-31
发明(设计)人：
季林
卞则军
申请人：
申请人地址：
215134 江苏省苏州市相城区渭塘镇凤南路99号1栋2楼C区
IPC主分类号：
B07C502
IPC分类号：
B07C534
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-31 | 授权 | 授权 |