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一种晶圆分选机上料装置
被引：0
申请号：
CN202222449065.7
申请日：
2022-09-15
公开(公告)号：
CN218333719U
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
袁康
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴江区平望镇梅堰联合村堰月桥北一号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 授权 | 授权 |