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晶圆分选机
被引：0
申请号：
CN202211288113.7
申请日：
2022-10-20
公开(公告)号：
CN115621165A
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
梁猛
林海涛
赵凯
卢升
吕治玮
申请人：
申请人地址：
201615 上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21683
B07C502
B07C534
B07C536
代理机构：
上海洞见未来专利代理有限公司 31467
代理人：
苗绘
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 公开 | 公开 |
| 2023-02-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20221020 |