溅射靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02800718.2

申请日：

2002-03-15

公开(公告)号：

CN1217028C

公开(公告)日：

2003-11-26

发明(设计)人：

长谷川浩一石井信雄朝木知美

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1414 C22C506 G11B726 G09F930 H05B3310 H05B3314 H05B3324

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

刘元金;庞立志

法律状态：

专利申请权、专利权的转移专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-27	专利申请权、专利权的转移专利权的转移	专利申请权、专利权的转移专利权的转移变更事项:专利权人变更前权利人:石福金属兴业株式会社变更后权利人:石福金属兴业株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都变更事项:共同专利权人变更前权利人:日本板硝子株式会社变更后权利人:无登记生效日:20061117
2004-04-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2003-11-26	公开	公开
2018-03-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20020315 授权公告日:20050831 终止日期:20170315
2005-08-31	授权	授权

共 50 条

[1]

溅射靶材 [P].

玉田悠 ;

齐藤和也 ;

上坂修治郎 ;

熊谷友正 .

中国专利 :CN106868459B ,2017-06-20

[2]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

松原庆明 .

中国专利 :CN107735504B ,2018-02-23

[3]

溅射靶材 [P].

福岛英子 ;

上坂修治郎 ;

玉田悠 .

中国专利 :CN105385995A ,2016-03-09

[4]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 .

中国专利 :CN1867693B ,2006-11-22

[5]

溅射靶材 [P].

E.Y.伊瓦诺夫 ;

A.莱波维克 ;

J.里泽 .

中国专利 :CN102844460A ,2012-12-26

[6]

溅射靶材 [P].

原範明 ;

枪田聪明 ;

松坂律也 ;

荻原谦 ;

高桥光弥 ;

铃木弘章 .

中国专利 :CN1534110A ,2004-10-06

[7]

溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶 [P].

松前和男 .

中国专利 :CN101631893A ,2010-01-20

[8]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

新村梦树 .

中国专利 :CN109072419B ,2018-12-21

[9]

溅射靶材 [P].

新村梦树 .

中国专利 :CN111712587A ,2020-09-25

[10]

溅射靶材 [P].

森晓 ;

熊谷训 ;

谷雨 ;

佐藤雄次 .

中国专利 :CN111836913B ,2020-10-27

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