溅射靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780028481.9

申请日：

2017-05-22

公开(公告)号：

CN109072419B

公开(公告)日：

2018-12-21

发明(设计)人：

长谷川浩之新村梦树

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C1903 G11B5738 G11B5851 B22F100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-23	授权	授权
2019-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170522
2018-12-21	公开	公开

共 50 条

[1]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 ;

朝木知美 .

中国专利 :CN1217028C ,2003-11-26

[2]

溅射靶材 [P].

长谷川浩之 ;

松原庆明 .

中国专利 :CN107735504B ,2018-02-23

[3]

溅射靶材 [P].

福岛英子 ;

上坂修治郎 ;

玉田悠 .

中国专利 :CN105385995A ,2016-03-09

[4]

溅射靶材 [P].

长谷川浩一 ;

石井信雄 .

中国专利 :CN1867693B ,2006-11-22

[5]

溅射靶材 [P].

玉田悠 ;

齐藤和也 ;

上坂修治郎 ;

熊谷友正 .

中国专利 :CN106868459B ,2017-06-20

[6]

溅射靶材 [P].

E.Y.伊瓦诺夫 ;

A.莱波维克 ;

J.里泽 .

中国专利 :CN102844460A ,2012-12-26

[7]

溅射靶材 [P].

原範明 ;

枪田聪明 ;

松坂律也 ;

荻原谦 ;

高桥光弥 ;

铃木弘章 .

中国专利 :CN1534110A ,2004-10-06

[8]

溅射靶材以及由该溅射靶材所得的溅射靶 [P].

松前和男 .

中国专利 :CN101631893A ,2010-01-20

[9]

溅射靶材 [P].

新村梦树 .

中国专利 :CN111712587A ,2020-09-25

[10]

溅射靶材 [P].

森晓 ;

熊谷训 ;

谷雨 ;

佐藤雄次 .

中国专利 :CN111836913B ,2020-10-27

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