一种光纤阵列U槽的光刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310639072.6

申请日：

2013-12-04

公开(公告)号：

CN104698759A

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

吕耀安翟继鑫

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新区清源路20号太科园传感网大学科技园立业楼D区一楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件序号:101616034715 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013106390726 申请日:20131204 号牌文件类型代码:1604
2017-04-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749881223 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013106390726 申请公布日:20150610
2015-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光纤阵列U槽结构 [P].

吕耀安 ;

翟继鑫 .

中国专利 :CN203587830U ,2014-05-07

[2]

采用光刻技术制造光纤阵列V槽的方法 [P].

程正达 .

中国专利 :CN101762971A ,2010-06-30

[3]

一种无盖板光纤U槽及光纤阵列 [P].

谭兰兰 .

中国专利 :CN208110092U ,2018-11-16

[4]

一种高可靠性的光纤阵列U槽 [P].

缪建民 .

中国专利 :CN202486355U ,2012-10-10

[5]

一种高可靠性的光纤阵列U槽的制造方法 [P].

缪建民 .

中国专利 :CN102608698B ,2012-07-25

[6]

一种光纤阵列光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488714A ,2022-05-13

[7]

一种光纤阵列光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488715A ,2022-05-13

[8]

一种光纤阵列光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488714B ,2024-07-02

[9]

一种光纤阵列V槽/盖板清洗方法 [P].

杨山保 ;

梁海 ;

王霞 ;

曾小林 .

中国专利 :CN117046803B ,2025-11-21

[10]

一种用于光纤阵列基板的光纤槽的涂胶装置 [P].

付仲常 .

中国专利 :CN220444219U ,2024-02-06

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