一种光纤阵列光刻机

被引：0

申请号：

CN202210151934.X

申请日：

2022-02-18

公开(公告)号：

CN114488715A

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

李西军

申请人：

申请人地址：

310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京金信知识产权代理有限公司 11225

代理人：

贾然

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220218
2022-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光纤阵列光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488714A ,2022-05-13

[2]

一种光纤阵列光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488714B ,2024-07-02

[3]

一种非机械光扫描光纤光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN115128912A ,2022-09-30

[4]

一种声光扫描超分辨光纤光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN115061338A ,2022-09-16

[5]

一种光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114442440A ,2022-05-06

[6]

一种光刻用光纤束以及光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488716A ,2022-05-13

[7]

一种光刻用光纤束以及光刻机 [P].

李西军 .

中国专利 :CN114488716B ,2024-04-05

[8]

一种光刻机 [P].

张爱玲 .

中国专利 :CN218298765U ,2023-01-13

[9]

一种光刻机 [P].

王凯诚 ;

牛志元 ;

丛敏 ;

谢稳 ;

秦宏鹏 ;

程智 ;

盛乃援 ;

徐兴燃 ;

傅俊隆 .

中国专利 :CN118295214B ,2025-07-22

[10]

一种光刻机 [P].

王凯诚 ;

牛志元 ;

丛敏 ;

谢稳 ;

秦宏鹏 ;

程智 ;

盛乃援 ;

徐兴燃 ;

傅俊隆 .

中国专利 :CN118295214A ,2024-07-05

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