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一种非机械光扫描光纤光刻机
被引：0
申请号：
CN202210805811.3
申请日：
2022-07-08
公开(公告)号：
CN115128912A
公开(公告)日：
2022-09-30
发明(设计)人：
李西军
申请人：
申请人地址：
310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京金信知识产权代理有限公司 11225
代理人：
贾然
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-30 | 公开 | 公开 |