一种光刻机光掩模夹具和JBX光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511294627.7

申请日：

2025-09-11

公开(公告)号：

CN120871552A

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

陈灏霆葛海鸣孙长杰张卓维廖浩曹宇

申请人：

广州新锐光掩模科技有限公司

申请人地址：

510799 广东省广州市黄埔区新芯光产业园新芯光一街2号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海申君律师事务所 31594

代理人：

李永辉

法律状态：

公开

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	公开	公开
2025-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250911

共 50 条

[1]

光刻机及光刻机用上版夹具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN204215146U ,2015-03-18

[2]

光刻机测试掩模版 [P].

王俊峰 .

中国专利 :CN220691253U ,2024-03-29

[3]

一种光刻机框架及光刻机 [P].

张瑞平 ;

杨玉杰 .

中国专利 :CN209149068U ,2019-07-23

[4]

徐程 ;

宋兴龙 .

中国专利 :CN302290339S ,2013-01-16

[5]

郭耸 ;

徐程 .

中国专利 :CN302441447S ,2013-05-22

[6]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[7]

张宾 .

中国专利 :CN218350710U ,2023-01-20

[8]

袁伟 .

中国专利 :CN102495536A ,2012-06-13

[9]

段淼 ;

朱钦富 ;

李林霜 ;

陈黎暄 .

中国专利 :CN117471858A ,2024-01-30

[10]

徐程 ;

朱诚 .

中国专利 :CN302849891S ,2014-06-18

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