蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710126429.9

申请日：

2017-02-28

公开(公告)号：

CN106960920B

公开(公告)日：

2017-07-18

发明(设计)人：

李鹏

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

H01L5156

IPC分类号：

C23C1424 C23C1412 C23C1456 C23C1404

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

唐清凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101740563284 IPC(主分类):H01L 51/56 专利申请号:2017101264299 申请日:20170228
2018-12-14	授权	授权
2017-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[2]

蒸镀组件 [P].

吕文旭 ;

吴建鹏 ;

王永茂 ;

雒磊 ;

曾望明 ;

何宝轲 ;

马超 .

中国专利 :CN222648089U ,2025-03-21

[3]

蒸镀装置及其蒸镀方法、显示器件制造设备 [P].

杜小波 .

中国专利 :CN107012433B ,2017-08-04

[4]

蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法 [P].

梅亚梦 ;

覃事建 .

中国专利 :CN114277337B ,2024-03-22

[5]

蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法 [P].

梅亚梦 ;

覃事建 .

中国专利 :CN114277337A ,2022-04-05

[6]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 ;

袁广才 .

中国专利 :CN115216737B ,2024-03-26

[7]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

杨成发 ;

尹志 ;

王琦 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN107815649B ,2018-03-20

[8]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵文炎 ;

王彦青 .

中国专利 :CN112813383A ,2021-05-18

[9]

蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

园田通 ;

林信广 ;

川户伸一 ;

井上智 .

中国专利 :CN102834541A ,2012-12-19

[10]

蒸镀盖板及蒸镀装置 [P].

林文晶 ;

轩景泉 ;

赵军 ;

钱海涛 ;

毕岩 ;

刘萍 .

中国专利 :CN214881790U ,2021-11-26

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