蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111544784.0

申请日：

2021-12-16

公开(公告)号：

CN114277337B

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

梅亚梦覃事建

申请人：

深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

王芳芳

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法 [P].

梅亚梦 ;

覃事建 .

中国专利 :CN114277337A ,2022-04-05

[2]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[3]

蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

陈爱国 ;

廖先江 ;

崔家宾 ;

张金中 ;

刘佳宁 .

中国专利 :CN119571261A ,2025-03-07

[4]

蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

园田通 ;

林信广 ;

川户伸一 ;

井上智 .

中国专利 :CN102834541A ,2012-12-19

[5]

显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法 [P].

王虎 ;

许瑾 ;

赵伟 ;

曹方义 ;

夏曾强 ;

王宏宇 ;

周小康 ;

蔡明瀚 ;

魏现鹤 ;

艾经伟 ;

张小庆 .

中国专利 :CN113061847A ,2021-07-02

[6]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

贾文斌 ;

孙力 ;

施槐庭 .

中国专利 :CN108677147B ,2018-10-19

[7]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵文炎 ;

王彦青 .

中国专利 :CN112813383A ,2021-05-18

[8]

蒸镀装置 [P].

李鹏 .

中国专利 :CN106960920B ,2017-07-18

[9]

蒸镀方法、蒸镀装置以及显示装置 [P].

杨付强 ;

杜骁 .

中国专利 :CN111244330A ,2020-06-05

[10]

蒸镀装置 [P].

孙亮 .

中国专利 :CN206069992U ,2017-04-05

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